一种电容式MEMS气体传感器

摘     要：一种电容式MEMS传感器，尤其适用煤矿安全监测以及生产生活中对空气中甲烷气体的检测，也可运用于特殊环境中氦气、二氧化碳、氩气等气体的检测，其包括一个热执行器和两个梳齿电容，热执行器包括若干对硅梁、一个微梭和锚区；每组梳齿电容包括可动梳齿、一组折叠结构弹簧、固定梳齿、锚区。该传感器可检测甲烷气体的浓度，根据半导体材料在一定电流下的电阻随周围气体中甲烷含量的变化而变化的原理，用硅梁的热形变驱动梳齿电容的电容变化，依据电容变化测量空气中的甲烷浓度。优点：结构简单，适应性强，无中毒影响，使用电容式测量因此无磨损、无惰性，温度、精度稳定性好，抗电磁干扰能力强，动态响应速度快。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

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