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| 专利/申请号： | CN202211243986.6 | 专利名称： | 一种全固态MEMS电场传感器、制备方法及工作方法 |
| 申请日： | 2022-10-12 | 申请/专利权人 | 中国矿业大学 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 江苏省徐州市大学路1号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | 分类号： | G01R29/12分类检索 教学教具专利转让搜索 |
| 公开/公告日： | 2023-01-31 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN115308497B | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
摘 要：本公开提供一种全固态MEMS电场传感器、制备方法及工作方法，所述全固态MEMS电场传感器可实现对静态电场/交流电场的检测，对静态电场进行测量时可自动识别电场方向。所述全固态MEMS电场传感器包括一个屏蔽极板、传感极板、屏蔽导线、受控开关、放大器、电容等组件。所述全固态MEMS电场传感器的屏蔽极板、传感极板、屏蔽导线、受控开关、放大器、电容等部件采用包括集成电路工艺在内的MEMS微加工工艺制造。本公开的电场传感器不含有可动部件、不需要激励信号驱动，具有功耗低、结构简单可靠、体积小、功耗低、温度特性好、可批量加工等特点。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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| 2011800014846 | 【】一种信号时序的测试方法及装置 | 2025/08/05 |
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