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摘 要:本发明公开了基于石墨烯和耦合光栅的光探测器及其制作方法。本发明结合了石墨烯作为吸收层和耦合光栅作为加强吸收结构的优势,实现高效、高灵敏度和高响应度的光子探测。本发明制备方法采用微纳加工工艺,采用正面或背面的减法或加法工艺,结合石墨烯片上转移或石墨烯片上集成微纳制备的方法,最终实现探测器结构。本发明在探测上可以实现基于金属/石墨烯/金属型(M/G/M)和石墨烯/GaN半导体结型(G/S)原理结构的探测。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201810015572.5 | 专利名称: | 基于石墨烯和耦合光栅的光探测器及其制作方法 |
申请日: | 2018-01-08 | 申请/专利权人 | 南京邮电大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 江苏省南京市亚东新城区文苑路9号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L31/09搜分类 电器搜索 |
公开/公告日: | 2018-07-24 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN108321242A | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
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专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |