发明专利 已授权

一种用于晶圆铸块成形的熔炉设备

📄 申请号:CN202111034974.8 📄 发布日:2026/09/08

著录项目信息

申请日
2021-09-04
公开号
CN113481588B
公开日
2021-11-16
申请人
南通冠准材料贸易有限公司
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

所属领域

应用场景

半导体晶圆制造, 集成电路制造, 光伏电池制造, 晶体材料制备, 半导体材料加工

摘要

本发明公开了一种用于晶圆铸块成形的熔炉设备,包括:炉管,所述炉管内部转动安装有熔融盆;调节架,所述调节架移动端转动连接有晶种柱;联动组件,所述联动组件包括连接柱、转动环和侧齿块,两个所述连接柱固定对称连接在转动环底部和熔融盆侧边,多个所述侧齿块环状固定连接在转动环远离炉管一侧的边缘;转动夹持组件,两个所述转动夹持组件对称安装在转动环两侧,所述转动夹持组件包括转轴、齿柱和夹持板,所述转轴通过安装架转动设置在转动环内部,多个所述夹持板环状固定连接在转轴侧边;拉动组件,所述拉动组件安装在转轴和调节架之间。本发明从上方将成型的铸块移出熔炉,使铸块一边进行底端的成型,一边进行上端的冷却。

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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