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摘 要:本实用新型公开了一种半导体真空设备用气密检测装置,包括外套件、密封圈、活动件、弹簧、封盖和螺丝,所述活动件一端为左杆,密封圈套设在左杆外圆面的杆槽内,所述活动件位于外套件的内部空间内,所述活动件另一端为右杆,所述弹簧套设在右杆外部,所述封盖套设在外套件的套件罐外,所述外套件一端为管状的套件横管另一端为罐状的套件罐,所述套件横管中部设有竖立的套件立管,所述活动件中部为圆形的中片,所述右杆背向中片的端面圆心开有端孔,所述封盖的轮廓呈圆形盖状,所述封盖的圆心部分开有开口,所述封盖焊接有盖夹。该半导体真空设备用气密检测装置,可检测半导体真空设备的气密性,适合普遍推广使用。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202022595174.0 | 专利名称: | 一种半导体真空设备用气密检测装置 |
申请日: | 2020-11-11 | 申请/专利权人 | 苏州市鑫龙净化机械设备有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 江苏省苏州市相城区黄桥镇木巷村 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G01M3/02搜分类 半导体搜索 |
公开/公告日: | 2021-05-25 | 转让价格: | 1500.0元 |
公开/公告号: | CN213274708U | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |