具有AlOX保护层的金刚石基MISFET器件

摘     要：本实用新型涉及一种具有AlOX保护层的金刚石基MISFET器件，属于半导体器件领域。该器件包括金刚石衬底、源电极、漏电极、栅电极和介质层；在金刚石衬底上表面的两端分别形成源电极和漏电极，在源电极和漏电极之间从下到上依次设置第一介质层AlOX和第二介质层，第二介质层的上表面设置栅电极，第一介质层和第二介质层共同作为MISFET器件的钝化层和栅介质层。本实用新型较好的优化了栅电极介质层沉积质量，对氢终端加以保护作用，并增强了栅介质层在金刚石氢终端上的附着力，避免二维空穴气密度降低、载流子迁移率下降，同时避免了对氢终端的破坏，改善栅电极漏电及阈值电压稳定性，提高生产良品率，提高器件服役寿命。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

  备注