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| 专利/申请号： | CN202320470325.0 | 专利名称： | 一种半导体刻蚀加工用清洗装置 |
| 申请日： | 2023-03-13 | 申请/专利权人 | 上海傲鑫电子有限公司 |
| 专利类型： | 实用新型 | 地址： | 上海市奉贤区金海公路6055号11幢5层 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | 分类号： | H01L21/67分类检索 半导体专利转让搜索 |
| 公开/公告日： | 2023-08-08 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN219497728U | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
摘 要：本实用新型公开了一种半导体刻蚀加工用清洗装置，涉及半导体技术领域，包括清洗箱，所述清洗箱内部的底端安装有密封块，且密封块的内部安装有驱动电机，所述驱动电机的输出端贯穿密封块内部顶端并连接有转动杆，且转动杆的顶端安装有固定盘。本实用新型通过设置有固定片的存在，使得本装置能够灵活的利用两个固定片之间间距的调节效果，来对不同的硅晶圆记性固定，以此保证本装置在清洗过程中的稳定性，并且本装置还可以对固定片进行拆卸，从而便于对硅晶圆进行反面，提高本装置的清洗质量，进一步的，本装置还可以通过利用驱动电机的驱动使得在清洗过程中，能够进行转动，有效的将清洗杂质甩出，从而保证本装置的清洗质量。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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