一种半导体刻蚀加工用清洗装置

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摘     要：本实用新型公开了一种半导体刻蚀加工用清洗装置，涉及半导体技术领域，包括清洗箱，所述清洗箱内部的底端安装有密封块，且密封块的内部安装有驱动电机，所述驱动电机的输出端贯穿密封块内部顶端并连接有转动杆，且转动杆的顶端安装有固定盘。本实用新型通过设置有固定片的存在，使得本装置能够灵活的利用两个固定片之间间距的调节效果，来对不同的硅晶圆记性固定，以此保证本装置在清洗过程中的稳定性，并且本装置还可以对固定片进行拆卸，从而便于对硅晶圆进行反面，提高本装置的清洗质量，进一步的，本装置还可以通过利用驱动电机的驱动使得在清洗过程中，能够进行转动，有效的将清洗杂质甩出，从而保证本装置的清洗质量。

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

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