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摘 要:本实用新型提供了一种基于机器视觉的晶圆切割随动监控装置,包括机壳,机壳在朝向激光切割头的一侧开设有矩形的贯通口,机壳内部为检测空腔,检测空腔的内部设置有激光灯,激光灯的尾部固定连接有连杆,连杆自检测空腔的内部从贯通口穿出,并且连杆的端部安装有固定装置。本实用新型通过分束镜将激光分成水平方向和竖直方向,并且使激光灯与激光切割头同步运动,使激光灯具有与激光切割头相同的运动轨迹,如此可通过监控激光灯来代替监控激光切割头。激光灯在前后、左右、上下三个维度上产生的位移距离均可通过水平光线和竖直光线被监控到,由此实现对激光切割头三个维度上的监控,使监控更全面。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202320053044.5 | 专利名称: | 一种基于机器视觉的晶圆切割随动监控装置 |
申请日: | 2023-01-09 | 申请/专利权人 | 威海融锐软件科技有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 山东省威海市经济技术开发区香港路67号406-20(自主申报) |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | B23K26/38搜分类 半导体搜索 |
公开/公告日: | 2023-05-02 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN218946663U | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |