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摘 要:本实用新型涉及粉尘收集技术领域,尤其是一种晶圆片加工用粉尘收集装置,包括箱体,所述箱体底部四侧均安装有支柱,所述箱体底部一侧安装有出水口,所述箱体底部中间安装有驱动电机,所述驱动电机的输出端安装有往复螺杆,所述往复螺杆伸入所述箱体内部,且所述往复螺杆位于所述箱体内部的一端安装有移动座,所述移动座与所述往复螺杆之间转动连接,所述移动座沿周向均匀安装有多个连杆,所述连杆另一端固定有安装框,所述安装框为矩形框,且所述箱体内壁与所述安装框之间相抵触,所述安装框四侧顶部均开有安装槽,所述安装槽内部安装有过滤机构,本实用新型结构简单,操作方便,方便完成对粉尘的收集。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202022300090.X | 专利名称: | 一种晶圆片加工用粉尘收集装置 |
申请日: | 2020-10-15 | 申请/专利权人 | 苏州百克晶电子科技有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 江苏省苏州市苏州工业园区跨塘分区金达路18号厂房北部一楼、二楼、三楼局部 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | B01D46/10搜分类 半导体搜索 |
公开/公告日: | 2021-08-06 | 转让价格: | 2100.0元 |
公开/公告号: | CN213885396U | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |