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摘 要:本发明公开了一种在可见光波段具有高透射特性的薄膜材料低温制备方法,该方法包括以下步骤:(1)石英片的清洗;(2)以硅烷和甲烷为反应气体采用等离子体增强化学气相沉积技术在石英片上沉积碳化硅薄膜;(3)以甲烷为反应气体采用等离子体增强化学气相沉积技术在步骤(2)中的碳化硅薄膜上沉积非晶碳薄膜。此发明方法通过调整和优化双层膜的折射率及厚度,从而降低薄膜对光的反射。经过上述步骤所制备的减反射膜具有工艺简单、成本低以及在可见光波段具有透射率高等优点。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201610816792.9 | 专利名称: | 一种具有高透射特性太阳能电池减反射膜的制备方法 |
申请日: | 2016-09-12 | 申请/专利权人 | 三峡大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 湖北省宜昌市大学路8号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L31/18搜分类 太阳能 膜的制备方法搜索 |
公开/公告日: | 2017-01-11 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN106328766A | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2017/07/11 | 授权 | |
2017/02/08 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): H01L 31/18 专利申请号: 201610816792.9 申请日: 2016.09.12 |
2017/01/11 | 公开 |