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| 专利/申请号： | CN202211077481.7 | 专利名称： | 一种全自动晶圆研磨机 |
| 申请日： | 2022-09-05 | 申请/专利权人 | 黄树生 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 湖南省株洲市永兴县洞口乡东坪村5号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | B24B37/10 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2022-11-04 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN115284163A | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 28 | 所属领域： | 半导体专利转让搜索 |
摘 要：本发明公开了一种全自动晶圆研磨机，涉及晶圆加工技术领域，具体为一种全自动晶圆研磨机，包括操作箱，所述操作箱的顶部安装有伺服电机，所述伺服电机的输出轴固定套接有螺杆，所述螺杆的外部螺纹套接有支撑板，所述支撑板的底部安装有液压机，所述液压机的底部固定连接有保护箱，所述保护箱的一侧固定连接有连接盒。该全自动晶圆研磨机，然后将调节杆从限位框的内部抽出，当所有的调节杆都从限位框的内部抽出并打开到最大程度后，将晶圆放置在托盘的顶部，并依次推回三组调节杆，经过限位板的限位使得晶圆被固定在托盘顶部的中心部位，然后转动调节杆外部的螺栓螺帽组将三组调节杆进行固定即可，由此提高了本装置的精准性。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 2024/11/22 | 授权 | |
| 2022/11/22 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): B24B 37/10 专利申请号: 202211077481.7 申请日: 2022.09.05 |
| 2022/11/04 | 公开 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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