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摘 要:本发明公开了一种全自动晶圆研磨机,涉及晶圆加工技术领域,具体为一种全自动晶圆研磨机,包括操作箱,所述操作箱的顶部安装有伺服电机,所述伺服电机的输出轴固定套接有螺杆,所述螺杆的外部螺纹套接有支撑板,所述支撑板的底部安装有液压机,所述液压机的底部固定连接有保护箱,所述保护箱的一侧固定连接有连接盒。该全自动晶圆研磨机,然后将调节杆从限位框的内部抽出,当所有的调节杆都从限位框的内部抽出并打开到最大程度后,将晶圆放置在托盘的顶部,并依次推回三组调节杆,经过限位板的限位使得晶圆被固定在托盘顶部的中心部位,然后转动调节杆外部的螺栓螺帽组将三组调节杆进行固定即可,由此提高了本装置的精准性。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202211077481.7 | 专利名称: | 一种全自动晶圆研磨机 |
申请日: | 2022-09-05 | 申请/专利权人 | 黄树生 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 湖南省株洲市永兴县洞口乡东坪村5号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | B24B37/10搜分类 半导体 晶圆研磨搜索 |
公开/公告日: | 2022-11-04 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN115284163A | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |