发明专利 已授权

一种基于级联增强游标效应的混合型横向压力传感器

📄 申请号:CN202111224853.X 📄 发布日:2026/08/10

著录项目信息

申请日
2021-10-20
公开号
CN113959606B
公开日
2023-09-26
申请人
南京信息工程大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

工业自动化, 智能制造, 医疗设备, 机器人触觉感知, 油气管道监测

摘要

本发明公开了一种基于级联增强游标效应的混合型横向压力传感器,包括Fabry‑Perot干涉仪和Michelson干涉仪;将Michelson干涉仪当作传感部分,将Fabry‑Perot干涉仪当作参考部分,通过级联Fabry‑Perot干涉仪和Michelson干涉仪,并控制Fabry‑Perot干涉仪和Michelson干涉仪的FSR,使两个干涉信号叠加,形成大干涉包络;当外界环境变化使Fabry‑Perot干涉仪和Michelson干涉仪的干涉条纹向相反方向移动时,大干涉包络呈现出增强游标效应;解调叠加形成的大干涉包络的移动得到外界物理量的变化。本发明的压力传感器制作工艺简单、性能稳定、价格低廉、测量范围大、温度串扰低,可在复杂环境中测量横向压力,可以得到较高的横向压力灵敏度。

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

20230926
✅ 授权
20220215
?? 实质审查的生效 :
20220121
📄 公开
议价
不含过户费

📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:22 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

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