基于氧化镓/CuAlO2异质结日盲型紫外探测器的制备方法

摘     要：本发明涉及一种基于氧化镓/CuAlO2异质结日盲型紫外探测器的制备方法。本发明是通过射频磁控溅射技术在石英(SiO2)衬底上沉积一层p‑CuAlO2薄膜，然后利用掩膜板并再次通过射频磁控溅射技术在p‑CuAlO2薄膜上沉积一层n‑Ga2O3薄膜，其面积是p‑CuAlO2薄膜面积的一半，最后利用射频磁控溅射技术在p‑CuAlO2和n‑Ga2O3薄膜上沉积一层Ti/Au薄膜作为电极使用。本发明的优点是：所制备的日盲型紫外探测器性能稳定，反应灵敏，暗电流小，具有广阔的应用范围；另外，该制备方法具有工艺可控性强，操作简单，普适性好，且重复测试具有可恢复性等特点，具有很大的应用前景。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期	法律信息	备注
  2021/07/27	专利权的转移	登记生效日: 2021.07.15 专利权人由浙江理工大学变更为北京镓创科技有限公司 地址由310018 浙江省杭州市江干经济开发区白杨街道2号大街928号变更为101300 北京市顺义区昌金路赵全营段56号院1号楼1层3070室
  2017/10/31	授权
  2017/03/22	实质审查的生效	IPC(主分类): H01L 31/18 专利申请号: 201611057998.4 申请日: 2016.11.26
  2017/02/22	公开