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摘 要:本实用新型公开了一种硅片夹取装置及硅片抛光设备,涉及硅片生产设备技术领域,其技术方案要点是:包括背板,还包括固定安装在所述背板背面一端的伸缩电机A,所述伸缩电机动力输出端固定连接齿条动力输入端,所述齿条上方啮合连接有齿轮,所述齿轮一端固定连接有传动杆,所述传动杆贯穿所述背板表面并连接转板一端,所述转板另一端表面通过滑杆连接竖板顶端,效果是通过在背板背面设置伸缩电机A并连接齿条,将齿条上方啮合连接齿轮,将齿轮通过传动杆连接转板,将转板表面通过轴承连接竖板,在竖板下端安装夹具,便于通过伸缩电机A的伸缩,从而通过齿条带动齿轮进行转动,从而将夹具进行左右上下运动,对硅片进行夹持后移料使用。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202321988726.1 | 专利名称: | 一种硅片夹取装置及硅片抛光设备 |
申请日: | 2023-07-26 | 申请/专利权人 | 上海磐盟电子材料有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 上海市松江区长塔路399号2幢 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L21/687搜分类 半导体 硅 夹取搜索 |
公开/公告日: | 2024-04-02 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN220710291U | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2024/04/02 | 授权 |