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摘 要:本发明公开了一种直拉单晶硅微波快速补料连续生产系统及其生产方法,涉及单晶硅生产技术领域。所述生产系统包括相互连接的连续补料装置和单晶硅提拉炉,连续补料装置的炉管设置在壳体内,炉管与壳体之间填充有保温材料,炉管顶部连接有进料仓;炉管呈L型且包括依次连接的熔料管、U型管和导流管,熔料管、导流管、U型管内径依次减小;壳体外侧壁上设置有微波发生器,微波发生器位置与熔料管位置对应,U型管上设置有加热装置,导流管与单晶硅提拉炉顶部设置的进料管连接。通过微波快速加热多晶硅,实现快速熔料;通过U型管和加热装置实现对熔硅的阻断和流通,从而实现按批次熔料补料,实现单晶硅的连续生产,生产效率得到大大提高。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202110994320.3 | 专利名称: | 一种直拉单晶硅微波快速补料连续生产系统及其生产方法 |
申请日: | 2021-08-27 | 申请/专利权人 | 昆明理工大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 云南省昆明市一二一大街文昌路68号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | C30B15/02搜分类 硅 微 微生物采样 单晶搜索 |
公开/公告日: | 2021-11-26 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN113699584A | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |