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摘 要:本实用新型公开了一种半导体材料制备扩散炉,涉及半导体生产领域。本实用新型包括炉体,炉体的内壁设置有螺旋状的电加热丝,炉体的底面贯穿有进气管,进气管的管壁位于炉体的内壁固定连接有多个喷头,炉体的内壁设置有截面呈L型的支撑筒,支撑筒的内壁固定连接有多个放置盘,支撑筒的内壁开设有若干间隔排列的通气孔,炉体内壁的上侧卡接有炉盖,炉体右面从上至下依次固定连接有呈L型的出气管、冷却筒、净化箱,冷却筒的内壁设置有包覆范围可变的冷却装置,净化箱的内壁设置有包覆范围可变的净化装置。本实用新型所产生的废气经过冷却和净化后再排出,避免对外部环境造成影响,保证人体的正常作业活动。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202420029984.5 | 专利名称: | 一种半导体材料制备扩散炉 |
申请日: | 2024-01-05 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | F27B17/00搜分类 半导体 半导体材料制备搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 2000.0元 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |