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本发明公开了一种凹面精密抛光装置，包括抛光槽、正电极、工件托板、工件、气囊液态金属抛光机、中心轴、负电极、连接件、法线轴、电机、气泵、喷头、液态金属输送管和液态金属回收管，所述工件托板安装在抛光槽内，工件安装在工件托板上；正电极安装在工件托板上远离气囊液态金属抛光机的一侧；中心轴的一端连接气囊液态金属抛光机，气囊液态金属抛光机和中心轴设置有负电极中心轴的另一端通过连接件连接法线轴；法线轴后端连接驱动法线轴转动的电机；本发明采用液态金属抛光液进行抛光，液态金属抛光液中的金属离子在电场的作用下会吸附在气囊液态金属抛光机气囊和工件的接触表面上，能够直接通过金属离子对抛光区域进行抛光，抛光精度更高。

本发明公开了一种阵列流变抛光各向异性材料的装置及方法，依据工件属性实现特定晶向的高效单向抛光，彻底解决传统工艺方向杂乱、效率低下和去除不可控的难题。本发明装置包括安装框架，安装框架中部设置抛光池，抛光池内设置工件夹具模块，用以固定晶圆工件并进行90度的回转定位；工件夹具模块上配合设有抛光工具模块，抛光工具模块通过移动模块活动设置于安装框架内，抛光工具模块在晶圆工件上方往复运动，用以对晶圆工件的表面保持单一方向的非接触式剪切增稠抛光；以及抛光池与设置于安装框架内的蠕动泵和搅拌器构成抛光液循环机构，用以配制、搅拌均匀并向抛光工具模块输送剪切增稠抛光液，同时回收流出的抛光液形成闭环循环。

一种基于微纳米气相和洛伦兹力的高精度均匀化抛光装置，包括由压力表、加工装置、磨粒缸、泵和控制阀组成的低压磨粒流回路，置于加工装置后方的电磁铁，置于磨粒缸中的搅拌器和水冷装置以及系统控制器；低压磨粒流在角度可调的楔形流道内抛光工件；角度可调指楔形流道的顶面倾斜角度可调；微纳米气相指磨粒流中的微小空化泡，由安装在加工装置流道入口前的微纳米气泡发生器产生；洛伦兹力为磁场对带电磨粒的作用力；磁场为置于加工装置后方的电磁铁所产生的平行于工件表面且垂直于磨粒流流动方向的强度可调均匀磁场；带负电磨粒为表面带负电荷的碳化硅磨粒。本发明使工件抛光后表面粗糙度均匀、表面精度提高、加工效率提高。

本发明提供了基于毛刷辅助力流变的表壳边角抛光设备及方法，其中表壳边角抛光设备包括工件夹持装置、进给装置、抛光槽装置、动力装置。本发明的方法采用该表壳边角抛光设备按照特定的步骤对表壳的边角进行抛光。本发明抛光设备中，抛光槽中设有可以旋转的毛刷辊筒，毛刷辊筒上方设有可以作往复直线运动的串件轴支架，抛光加工时，工件随串件轴支架作往复运动，毛刷辊筒的刷毛裹挟力流变抛光液作用于工件表面，刷毛的作用使力流变抛光液能与表壳的边角部位形成相对于运动，产生力流变效应，形成柔性的固着磨具，对表壳边角部位进行材料去除，同时，刷毛的作用使得力流变抛光液不会在表壳的边角上形成结块，从而实现有效的力流变抛光。

一种使用毛刷辅助的滚珠丝杠力流变抛光方法，在抛光液槽内添加利用非牛顿流体和磨粒制备的力流变抛光液；将滚珠丝杠一端装夹在三爪卡盘上、另一端安装在旋转支架上；调整升降系统使抛光头上的毛刷与工件接触，打开隔膜泵，使抛光液通过柔性软管注入抛光头空心腔内；在加工过程中，抛光液由抛光头的空心腔喷射到工件表面，随后抛光液和工件在设定的速度下发生相对运动，在接触区域产生剪切流变效应，抛光液中的固态分散颗粒包裹磨粒形成团簇；在高剪切速度下，过大的团簇会阻碍抛光液进入丝杠螺纹滚道内部，毛刷使得团簇可以与螺纹滚道内部充分接触，达到对滚珠丝杠表面的高质量抛光。本发明可以实现滚珠丝杠螺纹滚道高精度加工。