发明专利已授权

一种阵列流变抛光各向异性材料的装置及方法

📄 申请号：CN202610407725.5 📄 发布日：2026/08/04

著录项目信息

申请日

2026-03-31

公开号

CN121928451B

公开日

2026-06-09

申请人

浙江工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B24B29_02

IPC 分类号

B24B29_02 , B24B57_02 , B24B57_00 , B24B41_06 , B24B41_00 , B24B1_00 ,

技术画像

所属领域

精密抛光技术精密抛光技术流变加工技术表面光整加工

应用场景

精密零部件制造, 光学元件加工, 半导体晶圆抛光, 航空航天零部件表面处理, 模具抛光

AI 智能推荐 · 同申请人专利 · 搜索相似专利

摘要

本发明公开了一种阵列流变抛光各向异性材料的装置及方法，依据工件属性实现特定晶向的高效单向抛光，彻底解决传统工艺方向杂乱、效率低下和去除不可控的难题。本发明装置包括安装框架，安装框架中部设置抛光池，抛光池内设置工件夹具模块，用以固定晶圆工件并进行90度的回转定位；工件夹具模块上配合设有抛光工具模块，抛光工具模块通过移动模块活动设置于安装框架内，抛光工具模块在晶圆工件上方往复运动，用以对晶圆工件的表面保持单一方向的非接触式剪切增稠抛光；以及抛光池与设置于安装框架内的蠕动泵和搅拌器构成抛光液循环机构，用以配制、搅拌均匀并向抛光工具模块输送剪切增稠抛光液，同时回收流出的抛光液形成闭环循环。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

小功率智能健身骑行台控制系统

当前第 / 件

适用于瓜类农作物的翻转式自动采摘机构

同领域国内专利 · IPC: (B24B29_02)

B24B29_00 B24B29_02 B24B29_04 B24B29_06 B24B29_08 覆盖5个领域

相似专利推荐 AI 驱动 · 同领域

暂无同领域相似专利推荐

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：17 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 0件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

王**¥-10万

李** 企业¥-8万

陈**¥-3万

查看全部出价

我要出价 (议价)