发明专利 已授权

一种用于干燥粉末的多孔式MEMS气体传感器

📄 申请号:CN202211643215.6 📄 发布日:2026/08/03

著录项目信息

申请日
2022-12-20
公开号
CN115855764A
公开日
2023-03-28
申请人
常州大学怀德学院
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

工业过程监测, 粉末干燥监控, 气体泄漏检测, 环境气体监测, 化工安全监测

摘要

本发明适用于空气检测技术领域,提供了一种用于干燥粉末的多孔式MEMS气体传感器,包括绝缘套框和贴合在绝缘套框顶部中间位置的顶盖,所述顶盖的顶部开设有等距离呈环形分布的透气孔,且顶盖的外围和绝缘套框的外围设置有同一个外壳,所述顶盖的两侧与外壳的两侧之间设置有拆装组件,所述绝缘套框的内部设置有MEMS气体传感器组成组件,所述顶盖的顶部内壁中间位置固定安装有微型电机,本发明中形成较好的清理结构,避免高浓度粉末残留在气体传感器的表面以及内部严重影响传感器的持续使用以及多次利用,防止造成整个MEMS气体传感器不灵敏的现象,实现对敏感元件进行更换的效果,避免长期使用后敏感元件出现损坏造成无法工作的问题。

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这项专利是否已经下证?

是的,该专利已下证,法律状态为“已下证”,公开号: CN115855764A

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:22 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

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