专利名称：一种狭缝节流气浮转台
申请号：2020103581219
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法律状态：已下证
类型：发明
关键词：精密机械 气浮技术 运动控制 半导体制造设备
相似专利
发布日：2025/09/02
应用场景：超精密加工机床回转工作台;光刻机硅片承载平台;惯性约束聚变靶丸定位装置;高精度圆度测量仪旋转基座
专利名称：一种用于气体静压导轨的主动控制气垫静压滑块模块
申请号：2020106033019
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法律状态：已下证
类型：发明
关键词：精密机械 自动控制 气体轴承技术 高端装备制造
相似专利
发布日：2025/09/02
应用场景：半导体晶圆传输设备;超精密测量仪器;光学检测平台;数控机床主轴支撑系统;纳米级定位装置
专利名称：狭缝节流气浮转台
申请号：2020206953825
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法律状态：已下证
类型：实用新型
关键词：精密机械 气浮技术 半导体制造设备
相似专利
发布日：2025/09/01
应用场景：光刻机硅片承载台;超精密测量仪器基座;高端数控机床回转工作台;高世代显示面板传输平台;晶圆检测设备载物平台
专利名称：局部磁场可调式微驱动器
申请号：2012101124159
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法律状态：已下证
类型：发明
关键词：精密机械 微机电系统 MEMS 自动控制技术 磁性材料应用
相似专利
发布日：2025/09/15
应用场景：半导体制造设备中的精密定位与搬运;生物医疗领域的细胞分离与靶向给药;微流控芯片实验室的流体控制;光学仪器的自适应光学元件调节;纳米级操作机器人执行机构
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