发明专利已授权

局部磁场可调式微驱动器

📄 申请号：CN201210112415.9 📄 发布日：2025/09/15

著录项目信息

申请日

2012-04-17

申请人

浙江理工大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H02N15_00

IPC 分类号

技术画像

所属领域

微机电系统微机电系统微驱动器磁场控制

应用场景

精密定位, 光学调整, 微机器人, 生物医疗, 工业自动化

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摘要

本发明公开了一种局部磁场可调式微驱动器。包括由二维永磁体阵列和背铁组成的定子以及在绝缘体上下表面铺设有沿X、Y轴方向交错排列的电枢的动子，定子和动子之间具有气隙；二维永磁体阵列为整体成矩形“十”字型N、S主磁极呈交错分布的永磁体阵列，相邻的N主磁极或相邻的S主磁极间用非导磁块相隔；沿X、Y轴方向交错排列的电枢是由平行排列的X轴方向导线组和Y轴方向导线组构成。本发明结构简单，制作方便，导线式电枢结构使得局部磁场和电磁力调节更为灵活，在实现对悬浮力和水平推力解耦控制的同时，具有响应迅速，驱动范围广等优点，本发明可利用于微型机器人，光刻机或微电子封装设备等需要精密驱动和操作的场合。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种定型机烘箱风道结构以及设计方法

当前第 / 件

一种具有类圆锥切割轨迹的西兰花切块去芯生产线

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