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发明已授权

本发明涉及显影机辅助设备领域，特别是涉及一种用于涂胶显影机的胶水回收装置。包括固定座、升降座和筛盘；固定座顶端呈开放式结构设置，固定座内部具有一个呈环状结构设置存储腔，存储腔底端开设有多个安装口；升降座位于固定座正上方，且升降座的底面用于抵接在存储腔内，以使存储腔内的胶水被挤压通过多个安装口；筛盘安装在固定座外底端，筛盘的筛分部分别与多个安装口相匹配，用于对胶水进行滤筛。上述用于涂胶显影机的胶水回收装置由于筛盘的外装结构设置，使得在后续过程中对筛盘进行维修和更换时更方便，并且由于存储腔的环形结构设置，使得胶水在进行滤筛时不会出现窜流的问题，整个滤筛过程相对更稳定。

📄 202411784361X 📂 B05C11_10 👤 如东汇盛通半导体科技有限公司 📅 2024-12-06

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一种废液排放组件与匀胶显影机

实用新型已授权

本申请提供了一种废液排放组件与匀胶显影机，涉及废液处理技术领域。该废液排放组件包括废液槽，用于容纳光刻胶废液；多个喷胶单元，每个喷胶单元均通过独立的第一管道与废液槽连通，且每个喷胶单元产生的光刻胶废液均通过第一管道排放至废液槽。本申请提供的废液排放组件与匀胶显影机具有不易发生废液的回灌，晶圆生产的良率高的优点。

📄 2020230888357 📂 C02F1_00 👤 泉芯集成电路制造(济南)有限公司 📅 2020-12-17

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一种具有平整涂胶功能的涂胶显影机

发明已授权

本发明涉及涂胶显影机领域，尤其涉及一种具有平整涂胶功能的涂胶显影机。技术问题如下：不宜通过机械挤压的方式进行涂胶的固定，硅片的取放极为不便，并且通过甩胶的方式进行胶料的平整，胶料被甩到挡板上，胶料的回收处理困难。技术方案如下：一种具有平整涂胶功能的涂胶显影机，包括有电动转盘和匀胶系统等；电动转盘连接有用于硅片上多余胶料去除的匀胶系统。本发明通过基准片对多孔板进行水平度检测，用以模拟硅片放置于该位置时的水平度，用以确保硅片放置时的平整度，并且通过抽风的吸力固定硅片，实现对硅片的便捷取放以及固定，以及将多余胶料进行回收处理，避免胶料在限位环内堆积。

📄 2022113434624 📂 B05C11_08 👤 天霖(张家港)电子科技有限公司 📅 2022-10-31

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固态锂电池电解质专利包

转让方：中国科学院××研究所
受让方：××新能源科技有限公司
交易类型：独占许可
交易金额：¥320万

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CRISPR基因编辑技术

转让方：××大学
受让方：××生物医药有限公司
交易类型：转让
交易金额：¥1,200万

⚡

SiC功率器件工艺专利

转让方：××半导体有限公司
受让方：××汽车电子集团
交易类型：转让
交易金额：¥680万

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钙钛矿光伏组件技术

转让方：××科技公司
受让方：××能源集团
交易类型：开放许可
交易金额：¥50万/年

专利交易市场

一种用于涂胶显影机的胶水回收装置

一种废液排放组件与匀胶显影机

一种具有平整涂胶功能的涂胶显影机

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