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摘 要:低表面张力聚醚胺非离子表面活性剂、其制备和它在芯片集成电路显影液中的应用。本发明属于表面活性剂领域和芯片集成电路显影工艺领域。本发明的目的是为了提供一种无金属残留的聚醚胺非离子表面活性剂以及解决四甲基氢氧化铵表面张力大的技术问题。本发明以甲酸为还原剂,三溴化硼为催化剂,因此制备N,N‑二辛基聚醚胺非离子表面活性剂的过程中无金属残留,同时反应过程操作简单、伯胺转化率高、叔胺选择性好。将其与四甲基氢氧化铵水溶液复配得到显影液,所述显影液具有表面张力低,杂质金属离子含量少,满足芯片集成电路的洁净度要求,显影效果好的特点。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202211669407.4 | 专利名称: | 低表面张力聚醚胺非离子表面活性剂、其制备和它在芯片集成电路显影液中的应用 |
申请日: | 2022-12-24 | 申请/专利权人 | 江南大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 江苏省无锡市滨湖区蠡湖大道1800号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | C09K23/42搜分类 化工有机化合物 表 胺 低 港口 电路搜索 |
公开/公告日: | 2023-04-07 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN115926815A | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
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卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |