一种在激光干涉光刻中实现相移的方法和系统

摘     要：本发明公开了一种采用移相定位系统在激光干涉纳米光刻中移相的方法。其特征在于在两光束或多光束激光干涉光刻中，将两束或多束相干激光光束组合，发生干涉，通过控制一个或多个移相定位系统使光路的光程发生改变，实现干涉图形的相位移动及定位。在这种方法中，移相定位系统由电压源、位移驱动器和反射镜组成，通过给位移驱动器施加不同的电压，使反射镜也沿着它的轴向方向移动，实现相位移动及定位。移相定位系统也可通过电压源电压的改变，在与入射光垂直平面方向推动一个光楔，或通过电压源电压的变化，在与入射光垂直平面方向控制一个液晶显示器件(LCD)，或通过电压源电压的变化，控制一个驱动器拉伸光纤实现干涉图形的相移。这种移相的方法可以通过检测干涉图形的相位差，采用反馈(如锁相)控制干涉图形的相位移动，减少相位漂移使图案定位更精确。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

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