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摘 要:一种激光干涉向后转移系统涉及激光转移加工领域,基于激光转移技术与干涉技术的结合,将衬底材料以图案的方式向后转移透明衬底材料表面。该系统包括:脉冲激光器、分束镜、反射镜和偏振镜;脉冲激光器发出激光,通过分束镜分出至少两束光,经由反射镜反射,通过在激光能量范围内调节能量密度,几束光发生干涉;待加工组件包括透光材料和体材料,激光穿过透光材料在体材料表面发生干涉,发生干涉的激光对体材料烧灼,溅射的物质沉积在与体材料临近的透光材料面上,形成纳米级图案。本发明的双光束激光向后转移干涉系统,可以直接在普通环境下实现材料转移和大面积的干涉周期结构的直接制备,加工效率高,成本低,无污染,方法简便,结构完整清晰。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201910310855.7 | 专利名称: | 一种激光干涉向后转移系统 |
申请日: | 2019-04-18 | 申请/专利权人 | 长春理工大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 吉林省长春市朝阳区卫星路7089号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G03F7/20搜分类 激光 后 干搜索 |
公开/公告日: | 2021-01-19 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN109870884B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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日期 | 法律信息 | 备注 |