发明专利已授权

一种电子级低氧超高纯钛极薄带的制备方法

Name: 一种电子级低氧超高纯钛极薄带的制备方法
Brand: 安徽工业大学
SKU: 2019109859687
Availability: InStock

📄 申请号：CN201910985968.7 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2019-10-17

公开号

CN110695087B

公开日

2021-11-26

申请人

安徽工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B21B1_36

IPC 分类号

B21B1_36 , B21B1_40 , B21B27_02 , B21B37_00 , B21B45_02 , B21B29_00 , C22F1_18 ,

技术画像

所属领域

超高纯金属材料超高纯金属材料钛及钛合金加工金属极薄带制备

应用场景

半导体制造, 溅射靶材, 电子功能材料, 真空镀膜, 精密电子器件

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摘要

本发明公开了一种电子级低氧超高纯钛极薄带的制备方法，涉及金属材料加工技术领域。本发明的步骤为：一、纯钛铸坯的打磨、抛光处理；二、送入二辊轧机同步冷轧得到纯钛薄板；三、纯钛板去污清洗和退火；四、送入可逆四辊异步轧机，调节辊速和张力，进行异步+张力冷轧得到纯钛薄带；五、再次送入可逆四辊异步冷轧机，调节辊缝、辊速和张力，进行负辊缝异步+张力冷轧。本发明得到的纯钛极薄带的表面平整且抗拉压强度良好，能够替代现有技术生产的极薄带，和现有技术相比，本发明对生产设备的要求较低，减少了生产工序和生产成本。对于制备较厚的纯钛极薄带时，还可以仅使用上述的步骤一、步骤二和步骤四，且制备出的纯钛极薄带质量良好。

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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