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摘 要:本发明涉及一种基于可升降平台的辊对平面紫外纳米压印装置及方法,属于紫外纳米压印光刻领域。调节装置通过螺钉固定在主机架上部的滑块三和滑块四上,可升降平台的步进电机一固定于机架内部,并通过与支撑杆轴承配合固定于机架上,工作平台的Y轴工作平台方向指向可升降平台,工作平台通过螺钉固定于机架中央的底板上,运输装置一和运输装置二通过螺栓分别固定于机架的两侧,紫外灯固定于机架的支撑梁上,干蚀刻装置与机架由螺钉连接,固定于机架右侧的通道中。优点是结构新颖,压印装置相较于以往的滚对平面压印装置有更高的生产效率;使得模板与衬底更好的共形接触;减少了紫外曝光过程中热应力较大对模板和衬底的损伤。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201710838372.5 | 专利名称: | 一种基于可升降平台的辊对平面紫外纳米压印装置及方法 |
申请日: | 2017-09-17 | 申请/专利权人 | 长春工业大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 吉林省长春市延安大街2055号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G03F7/00搜分类 纳米搜索 |
公开/公告日: | 2023-04-07 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN107367901B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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日期 | 法律信息 | 备注 |