基于F-P干涉的复合式MEMS矢量水听器

摘     要：本发明为一种基于F‑P干涉的复合式MEMS矢量水听器，属于MEMS传感器技术领域。本发明包括固定连接的基座和底座，基座上刻蚀形成中心位置的十字形悬臂梁以及四个圆柱型腔体，悬臂梁和四个腔体薄膜的底面设置有反射膜，底座上位于四个圆柱型腔体的中心位置处以及位于四根悬臂梁最大位移的位置处分别安装有连接光纤的光纤准直器，安装光纤准直器的位置均形成F‑P腔。本发明采用十字形悬臂梁和声压薄膜与F‑P干涉技术相结合，分别将部分光纤准直器与每根悬臂梁形成F‑P腔作为矢量检测部分，将其余光纤准直器与对应的声压薄膜形成F‑P腔作为声压检测部分。本发明水听器克服了左右弦模糊的问题，满足了高灵敏度、微型化、高精度，抗电磁干扰的要求。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期	法律信息	备注
  2023/08/15	授权
  2022/02/22	实质审查的生效	IPC(主分类): G01H 9/00 专利申请号: 202111369167.1 申请日: 2021.11.18
  2022/02/01	公开