专利名称：基于F-P干涉的复合式MEMS矢量水听器      申请号：2021113691671     转让价格：面议  收藏
法律状态：已下证   类型：发明   关键词：P 干 F MEMS   相似专利 发布日：2023/10/17  
摘要： 本发明为一种基于F‑P干涉的复合式MEMS矢量水听器，属于MEMS传感器技术领域。本发明包括固定连接的基座和底座，基座上刻蚀形成中心位置的十字形悬臂梁以及四个圆柱型腔体，悬臂梁和四个腔体薄膜的底面设置有反射膜，底座上位于四个圆柱型腔体的中心位置处以及位于四根悬臂梁最大位移的位置处分别安装有连接光纤的光纤准直器，安装光纤准直器的位置均形成F‑P腔。本发明采用十字形悬臂梁和声压薄膜与F‑P干涉技术相结合，分别将部分光纤准直器与每根悬臂梁形成F‑P腔作为矢量检测部分，将其余光纤准直器与对应的声压薄膜形成F‑P腔作为声压检测部分。本发明水听器克服了左右弦模糊的问题，满足了高灵敏度、微型化、高精度，抗电磁干扰的要求。

专利名称：基于X波段的串联接触式射频MEMS开关及其制作方法      申请号：2022114299121     转让价格：面议  收藏
法律状态：已下证   类型：发明   关键词：电力 开关插座 MEMS   相似专利 发布日：2023/10/17  
摘要： 本发明属于射频MEMS开关技术领域，具体公开了一种基于X波段的串联接触式射频MEMS开关及其制作方法。其中，为了解决高驱动电压与可靠性之间的矛盾，本发明设计了一种具有五段式弹簧弯曲结构的可移动电极，其等效弹簧系数较小，因而该可移动电极在保证射频性能的情况下能够有效地减小驱动电压。此外，为了抑制趋肤效应的影响，本发明优化了可移动电极的中心梁结构，在中心梁上增加了触点且合理设计了内外触点的宽度，在提升S参数性能的同时，在一定程度上抑制了趋肤效应。由于本发明射频MEMS开关是基于微带线结构的射频MEMS开关，因此与共面波导结构相比，易于集成，且制造工艺简单。

专利名称：一种MEMS微泵测试方法及系统      申请号：2020110185156     转让价格：面议  收藏
法律状态：已下证   类型：发明   关键词：水泵 微 微生物采样 MEMS   相似专利 发布日：2023/10/17  
摘要： 本发明公开了一种MEMS微泵测试方法及系统，包括，基于最小二乘支持向量机构建控制模型；结合压力值指标判断贮液组件内压力与预设的第一阈值和第二阈值的大小，获得判断结果；利用所述控制模型读取所述判断结果，分别控制所述贮液组件与补液组件、量测器进行连通和关断；根据所述量测器中的液体变化得到所述待测微泵的测试数据。本发明使用补液组件和贮液组件辅助进行MEMS微泵测试，能够测试较小的输出液体体积和流量，同时，通过控制贮液组件的压力，可测试MEMS微泵在不同压力下的输出液体体积和流量，且系统中使用了单向阀的设计，保证了测试过程中不存在液体倒流的情况，保证了测试精度。

专利名称：一种MEMS压阻式加速度、压力集成传感器及制造方法      申请号：2014102645133     转让价格：面议  收藏
法律状态：已下证   类型：发明   关键词：传感器 加速度 MEMS   相似专利 发布日：2023/09/14  
摘要： 本发明公开了一种基于阳极键合封装的MEMS压阻式加速度、压力集成传感器及其制造方法，所述的传感器同时集成了压阻式加速度传感器和压阻式压力传感器，并且具有第一键合玻璃-硅基-第二键合玻璃三明治结构；本发明MEMS压阻式加速度、压力集成传感器结构新颖、重量轻、体积小、稳定性好、抗污染能力强；此外，本发明中，同一片芯片上使用相同的工艺，不同的设计来实现压力测量和加速度测量这两种能力，工艺流程简单；本发明传感器在航空航天、军事、汽车、环境监测等领域具有一定的应用前景。

专利名称：一种MEMS压阻式压力传感器及其制造方法      申请号：2014102646121     转让价格：面议  收藏
法律状态：已下证   类型：发明   关键词：传感器 MEMS   相似专利 发布日：2023/09/14  
摘要： 一种MEMS压阻式压力传感器及其制造方法。本发明提供了一种基于阳极键合封装的MEMS压阻式压力传感器，所述的传感器具有第一键合玻璃‑硅基‑第二键合玻璃三明治结构；所述硅基通过采用表面微加工技术与体微加工技术制造带有淡硼扩散压阻的膈膜作为压阻式压力传感器结构，并且利用二次阳极键合技术进行圆片级封装，第一次阳极键合采用硅‑玻璃阳极键合，第二次阳极键合利用非晶硅‑玻璃阳极键合技术的封装解决了传统硅‑玻璃阳极键合过程中容易击穿硅表面PN结和产生离子污染等缺点；本发明压力传感器结构新颖、重量轻、体积小、稳定性好、抗污染能力强、可靠性好，在航空航天、军事、汽车、环境监测等领域具有一定的应用前景。

专利名称：一种具有自动定位的MEMS陀螺仪      申请号：2020220714984     转让价格：面议  收藏
法律状态：已下证   类型：实用新型   关键词：陀螺仪 MEMS   相似专利 发布日：2023/12/07  
摘要： 本实用新型公开了一种具有自动定位的MEMS陀螺仪，包括自动定位MEMS陀螺仪本体，所述自动定位MEMS陀螺仪本体的内顶侧开设有内定位槽，所述内定位槽的嵌入连接有内盖板，所述内盖板的顶端固定连接有导热板，所述导热板的顶端固定连接有均热盖板，所述均热盖板的底端边缘处固定连接有散热侧板，所述散热侧板的外表面均匀设置有若干散热鳍片。本实用新型中，在自动定位MEMS陀螺仪本体运行时，其内部的热量通过内盖板上的导热板传递至均热盖板上，均热盖板上的热量会将热量传递至与其接触的壳体上，同时均热盖板上剩余的热量会逐渐散向散热侧板上的散热鳍片，散热鳍片在与空气接触的过程中将热量通过空气导出，进而提升了该自动定位MEMS陀螺仪本体的散热能力。

专利名称：一种基于蓝牙与MEMS融合的室内定位系统及方法      申请号：2016100113314     转让价格：面议  收藏
法律状态：已下证   类型：发明   关键词： MEMS   相似专利 发布日：2023/07/10  
摘要： 本发明公开了一种基于蓝牙与MEMS融合的室内定位系统及方法，设计了蓝牙/MEMS融合定位的粒子滤波器，充分利用两个子系统的可用信息，其中蓝牙系统是依据离线建库后在线匹配获取用户信息，MEMS组合系统是通过航向角解算和动态步长估计来获得用户的位置预测信息。采用扩展卡尔曼近似粒子滤波器作为融合导航滤波器，融合两个子系统的用户位置信息数据，通过合理选取状态变量和观测变量，建立状态方程和观测方程，最终得到最优的用户位置信息，实现室内准确定位。本发明采用蓝牙/MEMS室内融合定位能够解决传统室内定位系统中存在的定位精度低、设备成本高、覆盖范围小、定位连续性差等缺点。

专利名称：一种低成本高精度BD/MEMS融合姿态测量方法      申请号：2015109582144     转让价格：面议  收藏
法律状态：已下证   类型：发明   关键词：测量测绘 高精度 低 港口 MEMS   相似专利 发布日：2023/07/10  
摘要： 本发明涉及一种低成本高精度BD/MEMS融合姿态测量方法，属于导航技术领域。MEMS惯性传感器模块包括一个三轴加速度计，一个三轴陀螺仪和一个三轴磁力计。BD接收机模块包括2个天线，一个集成BD导航芯片。在该方法中，根据MEMS惯性传感器信息求解出载体姿态角，然后辅助AFM(模糊度函数法)算法求解整周模糊度，最后通过扩展卡尔曼滤波器实现BD/MEMS融合姿态测量。本方法解决了在BD信号被障碍物遮情况下，观测到的卫星颗数不足导致卫星测姿系统无法正常工作的问题，解决了信号失锁带来的整周模糊度求解困难，也解决了陀螺仪、加速度计累计误差的问题，该方法相比于传统方法实时性、可靠性等性能更强，精度更高。

专利名称：磁力计信息辅助的MEMS 陀螺仪标定方法及标定系统      申请号：2021101135010     转让价格：面议  收藏
法律状态：已下证   类型：发明   关键词：辅助 陀螺仪 MEMS   相似专利 发布日：2023/03/30  
摘要： 本发明公开了一种磁力计信息辅助的MEMS陀螺仪标定方法及标定系统，包括以下步骤：获取传感器实时数据，所述传感器实时数据包括实时陀螺仪数据和磁力计数据,所述实时陀螺仪数据包括运动的陀螺仪数据；对所述磁力计数据进行标定处理，获得标定后的磁力计数据；标定后的磁力计数据与运动的陀螺仪数据构建方程，利用递推最小二乘法对参数迭代估计直至数据终止，获得MEMS陀螺仪的误差参数的估计值；根据MEMS陀螺仪的误差参数的估计值对MEMS陀螺仪进行标定处理。其利用标定后的MEMS磁力计数据对MEMS陀螺仪标定，实现了低成本MEMS陀螺仪标定。

专利名称：单芯片多敏感单元的中心轴对称MEMS陀螺仪      申请号：2019100425894     转让价格：面议  收藏
法律状态：已下证   类型：发明   关键词：电路 集成电路 陀螺仪 MEMS   相似专利 发布日：2023/03/30  
摘要： 本发明公开了一种单芯片多敏感单元的中心轴对称MEMS陀螺仪，包括中心轴对称谐振陀螺仪本体，所述中心轴对称谐振陀螺仪本体包括至少两个敏感单元，所述敏感单元包括谐振环和电极，所述敏感单元呈径向分布且几何中心重合，所述敏感单元通过锚点连接，所述敏感单元的直径不同，所述敏感单元工作于不全相同的工作模式和振动模态，对每个敏感单元输出的信号进行分别处理，然后再进行数据融合。在一个芯片中集成多个敏感单元，各个敏感单元基于各自的工作模式分别工作于各自的振动模态，可以对输出信息进行融合或合并，从而大大提高性能。

专利名称：标量域MEMS惯性系统标定方法      申请号：2018111076981     转让价格：面议  收藏
法律状态：已下证   类型：发明   关键词： MEMS   相似专利 发布日：2023/03/30  
摘要： 本发明涉及本发明公开了一种标量域MEMS惯性系统标定方法，解决了MEMS惯性导航系统简化误差参数标定的问题。本发明的主要步骤为：步骤一：建立表量化MEMS惯性导航系统传感器误差模型；步骤二：进行载体翻转运动，采集多个位置数据，完成MEMS加速度计标定有效数据获取；步骤三：进行载体转速运动，变化载体方位，完成MEMS陀螺仪标定数据获取；步骤四：利用迭代优化算法实现误差参数估计；步骤五：标量域标定姿态变化次数为M，若k＝M，则输出估计的误差参数，完成标定过程，若k＜M，表示标定过程未完成，则重复上述步骤二至步骤五，直至标定过程结束。

专利名称：基于MEMS的小波域多传感器信息融合系统及融合方法      申请号：2010105228251     转让价格：面议  收藏
法律状态：已下证   类型：发明   关键词：传感器 MEMS   相似专利 发布日：2022/11/07  
摘要： 本发明公开的一种基于MEMS的小波域多传感器信息融合系统及融合方法，包括依次连接的微机电陀螺阵列模块、小波域多尺度分析模块、多尺度多传感器信息融合模块、小波多尺度重构模块及组合微机电惯性测量模块，微机电陀螺阵列模块还通过数据统计性分析模块与多尺度多传感器信息融合模块相连接。通过对各个微机电陀螺的信息进行多尺度小波分解和统计分析，然后在多尺度上进行融合，最后将融合后各尺度上的微机电陀螺信息重构到原始尺度上。使微机电测量设备的精度有效提高，各微机电陀螺仪的协调性得以应用，同时也增强了该系统的可靠性。融合系统性能稳定、工作可靠、体积小、性价比高，可以为各种设备提供精确的角度测量。

专利名称：一种基于MEMS阵列透镜天线      申请号：2019104325861     转让价格：面议  收藏
法律状态：已下证   类型：发明   关键词：通信 阵列 MEMS   相似专利 发布日：2022/09/21  
摘要： 本发明公开了一种基于MEMS阵列透镜天线，包括天线阵列单元，每个所述天线阵列单元与水平地面之间呈角度安装，且若干个所述天线阵列单元组合呈凹透镜阵列和凸透镜阵列排列；本发明实现把MEMS天线阵列单元做成透镜的形式，其中凸透镜天线阵列单元无需转动，可扩大天线的辐射范围；凹透镜天线阵列单元，产生的信号汇聚于一点再进行发射，增强了发射强度，可实现点对点的通信；同时无需机械式的转动，天线单元本身呈一定的角度安装，加之可调制的扭动，其辐射面实现更大范围的覆盖，避免了机械式雷达依靠传统机械式转动，实现波束的扫描转动，改善了机械式扫描目标反映速度慢、更新速率低、分辨率差等的影响。

专利名称：一种基于MEMS的压电式湿度传感器      申请号：2020223544684     转让价格：面议  收藏
法律状态：已下证   类型：实用新型   关键词：传感器 s 计算机硬件 MEMS   相似专利 发布日：2021/05/27  
摘要： 本实用新型公开一种基于MEMS的压电式湿度传感器，包括箱体，所述箱体的内壁左侧连通有塑料板，所述固定机构包括卡杆、第一扭力弹簧和滑轮，两个所述卡杆分别通过连接轴与箱体盖的顶部左右两侧转动相连，所述第一扭力弹簧的内壁与连接轴的外壁间隙配合，两个所述卡杆分别与两个卡槽相卡接，两个所述卡杆均通过连接轴转动相连有滑轮。该基于MEMS的压电式湿度传感器，使得通过箱体和箱体的贴合，并通过橡胶圈将箱体和箱体进行密封，对MEMS湿度传感器进行密封保护，避免湿气渗透，造成MEMS湿度传感器损坏，使得竖板通过第二扭力弹簧的弹性形变，将MEMS湿度传感器放置在箱体的内壁并进行固定，使得MEMS湿度传感器与箱体进行快速的固定连接。

专利名称：一种便于安装的MEMS传感器      申请号：2019217223804     转让价格：面议  收藏
法律状态：已下证   类型：实用新型   关键词：传感器 s 计算机硬件 MEMS   相似专利 发布日：2020/04/30  
摘要： 本实用新型公开了一种便于安装的MEMS传感器，包括MEMS传感器本体，MEMS传感器本体的四侧边上设有MEMS传感器接电脚，MEMS传感器本体的一侧面设有MEMS传感器上夹壳，MEMS传感器本体和MEMS传感器上夹壳之间设有MEMS传感器分离隔层，MEMS传感器上夹壳的四拐角与MEMS传感器本体的四拐角对应，MEMS传感器上夹壳的四拐角处皆设有MEMS传感器夹持脚，MEMS传感器夹持脚扣接在MEMS传感器本体的四拐角上，MEMS传感器上夹壳远离MEMS传感器本体的一侧面板上设有粘板嵌框，粘板嵌框内粘接有夹壳粘板，夹壳粘板远离粘板嵌框的一侧面上粘接有粘板分离膜，有益效果：本实用新型结构简单，使用方便，是一种新型且实用的便于安装的MEMS传感器。