一种具有自退让性的固结磨粒化学机械抛光垫及其制备方法和应用

摘     要：本发明涉及超精密加工技术领域，尤其涉及一种具有自退让性的固结磨粒化学机械抛光垫及其制备方法和应用。本发明的固结磨粒化学机械抛光垫包括纹理层和基体层；纹理层中含有退让剂，配合基体层的压缩功能，使固结磨粒在抛光压力下具有较强的退让性，磨粒可实现随抛光压力的变化而上下退让，解决了磨粒尺寸不一致、磨粒的凸刃高度不同问题；可实现加工过程中每个磨粒的切深均匀一致，进而减少或避免了大尺寸磨粒产生表面划痕的可能性；同时提高了单位时间内参与化学机械抛光的磨粒数量，不仅可提高生产效率及表面质量，还可有效实现塑性域加工，降低生产成本，可用于SiC单晶及其他硬脆性晶体材料、光学材料的大面积精密化学机械抛光。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期	法律信息	备注
  2022/06/10	授权
  2021/11/12	实质审查的生效	IPC(主分类): B24B 37/22 专利申请号: 202110870723.7 申请日: 2021.07.30
  2021/10/26	公开