一种在非硅基底上制造压电薄膜谐振器的方法

摘     要：本发明提供了一种在非硅基底上制造压电薄膜谐振器的方法，包括以下步骤：在硅片上沉积铜薄膜；在铜薄膜上涂覆光刻胶并进行光刻，去除待设置压电薄膜谐振器的下方空气间隙区域的光刻胶；进行电镀沉积铜层、去除光刻胶，获得具有台阶的剥离牺牲层；涂覆聚酰亚胺并对其热处理进行亚胺化、在其上方制作压电薄膜谐振器三明治结构；使用氧等离子体对非压电薄膜谐振器覆盖区域的聚酰亚胺层进行刻蚀；将所得器件置于铜腐蚀溶液中，溶解压电薄膜谐振器周围及其下方的铜，使用涂有聚乙烯醇胶水的滚筒贴于压电薄膜谐振器上方，将其从硅片上进行释放并剥离，再将其转移至所需非硅基底上；用热水冲洗滚筒，使滚筒与压电薄膜谐振器脱离，即可完成制作过程。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期	法律信息	备注
  2020/07/07	授权
  2019/08/20	实质审查的生效	IPC(主分类): H03H 9/17 专利申请号: 201910248954.7 申请日: 2019.03.29
  2019/07/26	公开