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24小时咨询热线摘 要：本发明公开了一种准确测量压电薄膜体声波谐振器质量灵敏度的方法，包括以下步骤：（1）测量空载谐振频率；（2）构筑首尾相接的封闭微围墙，将压电薄膜体声波谐振器的表面进行包围；（3）在微围墙包围的区域内注入盐溶液；（4）挥发盐溶液；（5）测量挥发后谐振频率；（6）清洗微围墙包围区域；（7）改变注入盐溶液的参数，得到多组液体全部挥发后器件的谐振频率；（8）计算质量灵敏度的值。通过盐溶液中的全部溶质完全沉淀在压电薄膜体声波谐振器的表面得到可精确控制的质量负载密度，从而大幅度提高所测量的质量灵敏度的准确程度，并且测量过程对器件本身没有破坏性。
著 录 项：
| 专利/申请号： | CN201310138446.6 | 专利名称： | 一种准确测量压电薄膜体声波谐振器质量灵敏度的方法 |
| 申请日： | 2013-04-19 | 申请/专利权人 | 山东科技大学 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 山东省青岛市经济技术开发区前湾港路579号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | 分类号： | G01R31/00搜分类 测量测绘 塑料 谐振器搜索 |
| 公开/公告日： | 2016-03-30 | 转让价格： | 面议 |
| 公开/公告号： | CN103226173B | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 2016/03/30 | 授权 | |
| 2014/04/23 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): G01R 31/00 专利申请号: 201310138446.6 申请日: 2013.04.19 |
| 2013/07/31 | 公开 |
