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摘 要:本发明公开了一种单晶金刚石衬底光学常数测量方法,包括:采用透射式椭偏测量方式和反射式椭偏测量方式分别测量单晶金刚石衬底;通过上述测量分别获得透射光谱(ψt、Δt)和反射光谱(ψr、Δr);依据上述测量获得光谱数据,采用Cauchy模型分别计算以获衬底光学常数,该光学常数至少包括衬底折射率n和消光系数k;评估拟合误差σ,当拟合误差超过预定条件,则优化光学模型或介电函数;比对优化后模型的拟合误差,选择一模型及测量方式以确定金刚石衬底的光学常数。它具有如下优点:光学常数测量更精准。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202011296318.0 | 专利名称: | 一种单晶金刚石衬底光学常数测量方法 |
申请日: | 2020-11-18 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 发明 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G01N21/21搜分类 光学仪器 仪器仪表 底 单晶搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
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卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |