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| 专利/申请号： | CN202210549578.7 | 专利名称： | 一种硬质颗粒光声共振辅助的玻璃加工方法 |
| 申请日： | 2022-05-20 | 申请/专利权人 | 广东工业大学 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 广东省广州市越秀区东风东路729号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | B24B1/04 分类检索 |
| 公开/公告日： | 转让价格： | 【平台担保交易】 | |
| 公开/公告号： | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 | |
| 浏览量： | 17 | 所属领域： | 玻璃专利转让搜索 |
摘 要：本发明涉及集成电路加工技术领域，尤其涉及一种硬质颗粒光声共振辅助的玻璃加工方法。一种硬质颗粒光声共振辅助的玻璃加工方法，包括以下步骤：步骤(a)、确定玻璃的待加工区域，将待加工的玻璃浸泡在添加有硬质颗粒的工作液内；步骤(b)、对工作液施加超声振动，同时使用激光配合超声进行耦合，其中：当超声振动向工作液施加正压时，使用激光照射玻璃的待加工区域，使工作液中的硬质颗粒与待加工区域发生碰撞或研磨，实现待加工区域材料的去除。所述硬质颗粒光声共振辅助的玻璃加工方法，有效提高玻璃加工的精度，加工精度能达到50nm，能够基本满足集成电路封装需求，且加工效率高，解决了现有超声玻璃打孔精度低、加工效率低下的问题。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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