发明专利已授权

一种硬质颗粒光声共振辅助的玻璃加工方法

📄 申请号：CN202210549578.7 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2022-05-20

申请人

广东工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B24B1_04

IPC 分类号

B24B1_04

技术画像

所属领域

玻璃加工激光加工精密加工超声辅助加工玻璃加工

应用场景

玻璃切割, 玻璃钻孔, 玻璃成型, 精密制造, 脆性材料加工

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摘要

本发明涉及集成电路加工技术领域，尤其涉及一种硬质颗粒光声共振辅助的玻璃加工方法。一种硬质颗粒光声共振辅助的玻璃加工方法，包括以下步骤：步骤(a)、确定玻璃的待加工区域，将待加工的玻璃浸泡在添加有硬质颗粒的工作液内；步骤(b)、对工作液施加超声振动，同时使用激光配合超声进行耦合，其中：当超声振动向工作液施加正压时，使用激光照射玻璃的待加工区域，使工作液中的硬质颗粒与待加工区域发生碰撞或研磨，实现待加工区域材料的去除。所述硬质颗粒光声共振辅助的玻璃加工方法，有效提高玻璃加工的精度，加工精度能达到50nm，能够基本满足集成电路封装需求，且加工效率高，解决了现有超声玻璃打孔精度低、加工效率低下的问题。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20230630

✅ 授权

20220902

?? 实质审查的生效：

20220816

📄 公开

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