一种硬质颗粒光声共振辅助的玻璃加工方法

摘     要：本发明涉及集成电路加工技术领域，尤其涉及一种硬质颗粒光声共振辅助的玻璃加工方法。一种硬质颗粒光声共振辅助的玻璃加工方法，包括以下步骤：步骤(a)、确定玻璃的待加工区域，将待加工的玻璃浸泡在添加有硬质颗粒的工作液内；步骤(b)、对工作液施加超声振动，同时使用激光配合超声进行耦合，其中：当超声振动向工作液施加正压时，使用激光照射玻璃的待加工区域，使工作液中的硬质颗粒与待加工区域发生碰撞或研磨，实现待加工区域材料的去除。所述硬质颗粒光声共振辅助的玻璃加工方法，有效提高玻璃加工的精度，加工精度能达到50nm，能够基本满足集成电路封装需求，且加工效率高，解决了现有超声玻璃打孔精度低、加工效率低下的问题。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

  备注