一种高耐磨CoFeTaB/MgCuY非晶/非晶多层膜及其制备方法

摘     要：本发明公开了一种高耐磨性硬质CoFeTaB/MgCuY多层膜的制备方法，其采用双靶磁控溅射交替沉积CoFeTaB非晶合金和MgCuY非晶合金，在CoFeTaB非晶合金中引入较软的轻合金Mg基非晶薄层(～3nm)。本发明克服了非晶合金薄膜硬度高但耐磨性差的缺陷，通过引入高密度非晶‑非晶界面来抑制非晶合金的室温剪切局域化和应变软化效应，从而在保证长程无序结构特征的基础上，实现CoFe基非晶合金薄膜耐磨性能的显著提升。多层膜在无润滑条件下摩擦系数为0.41‑0.50，耐摩擦性能明显优于组元MgCuY非晶合金和CoFeTaB非晶合金。该方法成本低廉、制备工艺简单、参数易控、适合大规模工业化生产。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期	法律信息	备注
  2023/07/14	授权
  2022/11/22	实质审查的生效	IPC(主分类): C23C 14/16 专利申请号: 202211027767.4 申请日: 2022.08.25
  2022/11/04	公开