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| 专利/申请号： | CN202211027767.4 | 专利名称： | 一种高耐磨CoFeTaB/MgCuY非晶/非晶多层膜及其制备方法 |
| 申请日： | 2022-08-25 | 申请/专利权人 | |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | 分类号： | C23C14/16分类检索 CO F专利转让搜索 |
| 公开/公告日： | 转让价格： | 【平台担保交易】 | |
| 公开/公告号： | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
摘 要：本发明公开了一种高耐磨性硬质CoFeTaB/MgCuY多层膜的制备方法，其采用双靶磁控溅射交替沉积CoFeTaB非晶合金和MgCuY非晶合金，在CoFeTaB非晶合金中引入较软的轻合金Mg基非晶薄层(～3nm)。本发明克服了非晶合金薄膜硬度高但耐磨性差的缺陷，通过引入高密度非晶‑非晶界面来抑制非晶合金的室温剪切局域化和应变软化效应，从而在保证长程无序结构特征的基础上，实现CoFe基非晶合金薄膜耐磨性能的显著提升。多层膜在无润滑条件下摩擦系数为0.41‑0.50，耐摩擦性能明显优于组元MgCuY非晶合金和CoFeTaB非晶合金。该方法成本低廉、制备工艺简单、参数易控、适合大规模工业化生产。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 2023/07/14 | 授权 | |
| 2022/11/22 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): C23C 14/16 专利申请号: 202211027767.4 申请日: 2022.08.25 |
| 2022/11/04 | 公开 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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