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摘 要:本实用新型公开了一种高端装备制造的半导体芯片均匀喷涂设备,涉及到喷涂设备领域,包括喷涂管道,喷涂管道的下方连接有长距离喷涂组件,长距离喷涂组件包括上下设置的上板体、下板体,上板体的底部固定设置有驱动下板体移动的驱动组件,上板体上设置有通过螺纹配合连接在喷涂管道端部的连接套,长距离喷涂组件可匹配连接在喷涂管道的下端,适用于将喷涂管道处喷出的雾状喷涂料分散呈长距离的雾状喷涂料,用于一次性喷涂半导体芯片一个长度方向的表面位置或者一个宽度方向的表面位置,在不改变原设备的情况下,提高了喷涂效率,且长距离喷涂组件可匹配不同的喷涂管道上使用,具有很强的实用性。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202220520624.6 | 专利名称: | 一种高端装备制造的半导体芯片均匀喷涂设备 |
申请日: | 2022-03-11 | 申请/专利权人 | 泉州市微米电子科技有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 福建省泉州市石狮市蚶江镇港口大道伟伦实业有限公司(立泰园区内) |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | B05B13/02搜分类 半导体 集成电路 高端装备制造 均匀 导体芯片搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |