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摘 要:本实用新型公开了一种半导体陶瓷粉智能热喷涂设备,涉及到半导体陶瓷粉智能热喷涂设备领域,包括喷涂壳体,真空发生单元启动时,将喷涂壳体的内部抽真空,使得喷涂壳体内部形成负压,此时打开第二喷涂进料管道和第一喷涂进料管道中设置的控制阀,存储氧化锆溶液、陶瓷粉的罐体中的氧化锆溶液、陶瓷粉会进入喷涂壳体的内部混合,经过集料斗内壁上的导向板导向充分混合之后从集料斗的下端开口排出,而氧化锆溶液、陶瓷粉混合之后可将陶瓷粉无尘的均匀喷涂在半导体表面,不会造成浪费,且氧化锆溶液、陶瓷粉混合之后提高了陶瓷粉分布的均匀性,氧化锆溶液使得陶瓷粉更容易凝固在半导体表面。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202221083987.4 | 专利名称: | 一种半导体陶瓷粉智能热喷涂设备 |
申请日: | 2022-05-07 | 申请/专利权人 | 泉州市微米电子科技有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 福建省泉州市石狮市蚶江镇港口大道2608号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | C23C4/12搜分类 半导体 陶瓷搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |