咨询电话：13280638997
传真：0533-3110363
邮箱：kefu@shizifang.com
24小时咨询热线13280638997
24小时咨询热线著 录 项 目：
| 专利/申请号： | CN202110642340.4 | 专利名称： | 一种防静电抛光层、抛光垫及其制备方法和应用 |
| 申请日： | 2021-06-09 | 申请/专利权人 | 广东工业大学 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 广东省广州市越秀区东风东路729号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | 分类号： | B24B37/22分类检索 其他专利转让搜索 |
| 公开/公告日： | 转让价格： | 【平台担保交易】 | |
| 公开/公告号： | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
摘 要：本发明公开了一种防静电抛光层、抛光垫及其制备方法和应用，所述防静电抛光层包括如下按质量百分比计的原料：聚氨酯预聚物1％～30％；磨粒40％～96％；抗静电的导电物质1％～10％；交联剂1％～10％；多孔氧化锆1％～10％。所述抛光垫包括：基体层，所述基体层包括弹性衬底层和制备在弹性衬底层上的刚性层；上述防静电抛光层，所述抛光层制备在所述刚性层上；所述抛光层和刚性层以及弹性衬底层和刚性层均通过粘结剂粘结。本发明提供了一种防静电抛光层，所述防静电抛光层中含有抗静电的导电物质，使用该抛光层制备得到的抛光垫可防止CMP工作系统的故障，同时保证晶圆的表面加工质量，具有良好的应用前景。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
| 2019112657591 | 【发明】一种强化研磨加工设备的进料装置及进料方法 | 2025/08/12 |
| 2021210031124 | 【实用新型】一种单边钻石抛光设备 | 2025/08/11 |
| 2022115018341 | 【发明】一种阀门端盖加工系统及加工方法 | 2025/08/08 |
| 2021116751886 | 【发明】激光诱导等离子体辅助双面研磨透明材料的装置及方法 | 2025/07/24 |
| 2023213284190 | 【实用新型】一种晶圆研磨装置 | 2025/08/08 |
| 2023211098864 | 【实用新型】一种晶圆清洗抛光装置 | 2025/08/08 |
| 2023228434970 | 【实用新型】一种全自动变速研磨机通风防尘设备 | 2025/07/15 |
| 2024210842522 | 【实用新型】一种研磨均匀的研磨机 | 2025/07/14 |
| 2022227010172 | 【实用新型】平面研磨机 | 2025/07/14 |
| 2025103754865 | 【发明】一种轴承研磨加工用轴承套圈自动装填装置 | 2025/07/08 |
