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摘 要:本发明提供了一种InGaAs/AlGaAs阱垒外延层结构的优化方法及其应用,包含GaAs衬底和GaAs间隔层,具体是利用MOCVD方法在GaAs衬底上交替生长量子阱InGaAs和势垒AlGaAs,并在每个InGaAs/AlGaAs阱垒界面处均插入一层GaAs间隔层,有效的减小了In、Al原子偏析的长度,并且减小了AlGaAs势垒厚度,避免了In的扩散,降低了外延生长InGaAs量子阱的难度,有助于提高激光器的内量子效率,增强其光电性能。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202110054432.0 | 专利名称: | 一种InGaAs/AlGaAs阱垒外延层结构的优化方法及其应用 |
申请日: | 2021-01-15 | 申请/专利权人 | 陕西科技大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 陕西省西安市未央区大学园区陕西科技大学 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01S5/343搜分类 L LED芯片搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |