发明专利 已授权

一种具有电阻开关效应的BEFMO/ZnO复合异质结及其制备方法

📄 申请号:CN201811089163.6 📄 发布日:2026/08/03

著录项目信息

申请日
2018-09-18
申请人
陕西科技大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

所属领域

应用场景

非易失性存储器, 阻变存储器, 神经形态计算, 半导体器件

摘要

本发明提供一种具有电阻开关效应的BEFMO/ZnO复合异质结及其制备方法,包括复合在一起的下层膜和上层膜;下层膜化学式为ZnO,六角纤锌矿结构;上层膜化学式为Bi0.9Er0.1Fe0.99Mn0.01O3,扭曲的菱方钙钛矿结构,空间群R3c。制备方法包括以下步骤:制备ZnO前驱液;在FTO/Glass基板上旋涂ZnO前驱液,烘烤,退火得到晶态ZnO薄膜;制备BEFMO前驱液,在晶态ZnO薄膜上旋涂BEFMO前驱液,烘烤,退火,即得到BEFMO/ZnO复合异质结。本发明所述的BEFMO/ZnO复合异质结表现出很好的电阻开关效应。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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