一种晶圆烘烤装置

摘     要：本实用新型公开了一种晶圆烘烤装置，包括用于加热烘烤晶圆的机架装置，还包括所述机架装置前后对称安装的两个用于通过高压吹气加速晶圆表面水渍下流的吹气装置，所述机架装置中间设置有用于循环输送晶圆的输送装置；所述吹气装置包括气泵，所述气泵下面安装有过滤头，所述气泵上面安装有输气管，所述输气管顶端设置有均气管，所述均气管上均匀分布有若干喷头；所述输送装置包括第二支架。本实用新型所述的一种晶圆烘烤装置，通过从前后两面喷吹晶圆水渍的设置，加速了晶圆表面的水渍下流，加速了晶圆的烘干；通过循环输送晶圆的设置，保证了晶圆烘烤的连续性，减少了取放的辅助时间；通过晶圆竖立烘干的设置，保证了晶圆两面烘烤的均匀性。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期	法律信息	备注
  2023/09/01	授权