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摘 要:本实用新型公开了一种半导体镀膜装置,包括底板、镀膜桶、用于夹持半导体并使其镀膜更均匀的夹持机构、镀液箱,还包括用于将工作区域分隔使其可同时进行镀膜和更换半导体的分隔机构。有益效果:在夹持机构夹持半导体后,第一挡板、分隔板和第二挡板将镀膜桶分隔为两个区域,镀液箱产生的蒸气对其中一个半导体镀膜,完成镀膜后,通过连接轴的转动,带动第一挡板和第二挡板转动,切换工作区域,将另一个半导体置于蒸气中,盖板防止在切换工作区域时,蒸气外漏,非工作区域拉开盖板,对半导体进行更换,通过分隔机构机构来使镀液箱在半导体完成镀膜后,不需等待冷却,便可更换半导体,并同时进行下一组半导体镀膜。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202320713059.X | 专利名称: | 一种半导体镀膜装置 |
申请日: | 2023-04-04 | 申请/专利权人 | 成都维涵电气有限责任公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 四川省成都市武侯区星狮路711号1栋2单元7楼706号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | C23C14/24搜分类 半导体搜索 |
公开/公告日: | 2023-10-03 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN219793086U | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2023/10/03 | 授权 |