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摘 要:本发明提供一种基于全晶体波导的大角度弯曲波导结构的制备方法,属于集成光子学器件制备技术领域,采用精密金刚石刀切割的技术制备波导弯曲结构,具体为①制备两条互相交叠的波导,分别作为入射波导及出射波导;②采用精密金刚石刀切割的方法,在两波导交叠区域进行定位、切割,以形成全反镜结构。其特点及优势主要包括:1.目前唯一可行的全晶体波导大角度弯曲的实现方法;2.制备方法简单,仅需在常规波导制备工艺的基础上增加一次切割工艺;3.损耗小;4.结构紧凑,易于集成;5.适用材料范围广,易于推广。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201811539985.X | 专利名称: | 一种大角度弯曲全晶体波导结构的制备方法 |
申请日: | 2018-12-17 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 发明 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G02B6/13搜分类 集成光子学器件 波导激光 全晶体光波导搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
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卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |