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集成光子学器件专利转让
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专利名称:
一种大角度弯曲全晶体波导结构的制备方法
申请号:
201811539985X
转让价格:面议
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法律状态:已下证 类型:发明 关键词:
集成光子学器件 波导激光 全晶体光波导
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发布日:2024/11/01
摘要: 本发明提供一种基于全晶体波导的大角度弯曲波导结构的制备方法,属于集成光子学器件制备技术领域,采用精密金刚石刀切割的技术制备波导弯曲结构,具体为①制备两条互相交叠的波导,分别作为入射波导及出射波导;②采用精密金刚石刀切割的方法,在两波导交叠区域进行定位、切割,以形成全反镜结构。其特点及优势主要包括:1.目前唯一可行的全晶体波导大角度弯曲的实现方法;2.制备方法简单,仅需在常规波导制备工艺的基础上增加一次切割工艺;3.损耗小;4.结构紧凑,易于集成;5.适用材料范围广,易于推广。
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