本发明提供一种基于全晶体波导的大角度弯曲波导结构的制备方法，属于集成光子学器件制备技术领域，采用精密金刚石刀切割的技术制备波导弯曲结构，具体为①制备两条互相交叠的波导，分别作为入射波导及出射波导；②采用精密金刚石刀切割的方法，在两波导交叠区域进行定位、切割，以形成全反镜结构。其特点及优势主要包括：1.目前唯一可行的全晶体波导大角度弯曲的实现方法；2.制备方法简单，仅需在常规波导制备工艺的基础上增加一次切割工艺；3.损耗小；4.结构紧凑，易于集成；5.适用材料范围广，易于推广。
📄 201811539985X
📂 G02B6_13
👤 聊城大学
📅 2018-12-17
本发明提供一种基于全晶体波导的输入/输出耦合器的制备方法，其核心是利用全内反射原理，通过精密切割技术在波导样品适当位置制作全反镜，以实现波导模式信号的输入/输出属于集成光子学器件制备技术领域。其特点及优势主要包括：1.目前唯一可行的全晶体波导输入/输出耦合器制备方法；2.制备工艺简单，仅需在常规波导制备工艺的基础上增加若干次切割工艺；2.与传统光栅类耦合器相比，耦合效率得到显著提升；3.适用材料范围广，易于推广。
📄 2019101132388
📂 G02B6_13
👤 聊城大学
📅 2019-02-14
本申请提供一种反MMI型波导马赫‑曾德干涉器的制备方法，在各种类型的条形光波导的基础上，制作两个沟槽；沟槽内侧壁所围成的区域与原条形波导区域重合，即将原波导重构为脊型波导；所述脊型波导的宽度与原条形波导宽度等于或小于原条形波导。该方案可以极大简化波导马赫‑曾德干涉器的制备过程，并可将干涉器的总长度减少到数微米至数十微米量级，从而为基于各类低折射率对比波导的集成光学芯片开发，以及高性能的微型波导传感器制备提供了新的思路。
📄 2020103486568
📂 G02B6_13
👤 聊城大学
📅 2020-04-28
柿子坊 · 知识产权运营
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