可控高密度等离子体制备装置和石墨烯薄膜的制备方法

摘     要：本发明涉及一种可控高密度等离子体制备装置，包括真空室、位于真空室中的上极板、正对上极板下方的下极板、电感线圈、真空抽气系统，上极板和下极板平行设置且间距可调，电感线圈位于上极板和下极板之间且其轴中心沿水平方向设置，上极板、电感线圈和下极板分别连接有第一电源、第二电源和第三电源，上极板上均布有若干小孔，下极板下表面还连接有加热器，真空室还开设有进气口，进气口内穿设有进气管，进气管与外部的气源连通。本发明可以实现大面积均匀、等离子体密度、离子通量、离子能量的独立调控的等离子体的制备过程，且可在碳化硅基片表面低温条件下制备石墨烯薄膜。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

  备注