石墨烯薄膜的制备方法

摘     要：本发明涉及一种石墨烯薄膜的制备方法，采用双频驱动的容性耦合等离子体源对氢气放电产生氢等离子体，利用所述氢等离子体在温度20‑80℃下还原氧化石墨烯薄膜得到石墨烯薄膜，氧化石墨烯薄膜的厚度为1‑30μm，氢气的流量为10‑30sccm，产生双频驱动的容性耦合等离子体源的上电极的射频频率为13.56‑60MHz，功率为0‑500W，下电极的射频频率为2‑27.12MHz，功率为0‑500W，氢气通过进气管与上电极的上极板连通，上极板上均布有若干小孔。本发明通过合理的控制氢等离子体的密度和能量，在低温条件下高效、无污染制备出具有良好的导电性能和透光性能的自支撑石墨烯。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期	法律信息	备注
  2018/11/27	授权
  2018/06/29	实质审查的生效	IPC(主分类): C01B 32/184 专利申请号: 201810162626.0 申请日: 2018.02.27
  2018/06/05	公开