多孔低介电常数薄膜材料及其制备方法

摘     要：本发明公开了一种多孔低介电常数薄膜材料及其制备方法，其中制备方法包括如下步骤：提供硅衬底，对其进行清洗，并将其置于电子回旋共振等离子体设备中；将D5环有机硅置于恒温蒸发器中，将气化后的D5环有机硅送入电子回旋共振等离子体设备中；调节电子回旋共振等离子体设备的控制器，使D5环有机硅形成等离子体，并沿其运动方向在下游发生分解，在硅衬底表面上沉积形成多孔SiCOH薄膜；将多孔SiCOH薄膜真空热处理。本发明的制备方法克服了现有技术中高能量离子对薄膜的轰击所导致的薄膜损伤较大的缺点。由上述方法制备低介电常数薄膜材料的介电常数值为2.8，表面均匀，粗糙度低，绝缘性能和热稳定性好，并与微电子工艺具有较好的兼容性。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

  备注