发明专利 已授权

一种多层陶瓷基板气密性检测装置

📄 申请号:CN202010424528.7 📄 发布日:2025/11/10

著录项目信息

申请日
2020-05-19
公开号
CN111426431B
公开日
2022-06-17
申请人
合肥智慧龙机械设计有限公司
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

半导体封装, 传感器封装, 无线通信器件, 汽车电子

摘要

本发明公开了一种多层陶瓷基板气密性检测装置,包括定位上料装置、机械手、对中定位装置、真空接头、真空橡皮、喷枪和质谱检漏仪;定位上料装置包括上料筒和顶升板;若干块待测的多层陶瓷基板垂直堆叠放置在顶升板顶部;真空橡皮具有空腔窗;机械手底部设有吸盘和弹性压框;弹性压框同轴套设在吸盘外周的机械手底部,弹性压框的截面宽度不小于0.5mm;对中定位装置包括相互垂直的横向对中组件和竖向对中组件;横向对中组件和竖向对中组件均包括两块定位板。本发明能使整个检测过程均自动完成,自动化程度高,同时能准确控制多层陶瓷基板外边缘与空腔窗边缘之间的间距,且压紧位置和压紧力保持一致,从而使得气密性检测结果可靠、准确度高。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

……

……

图1
图2
图3

法律状态时间线

20230801
?? 专利权的转移 :
20220617
✅ 授权
20200811
?? 实质审查的生效 :
20200717
📄 公开

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📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:71 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

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