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摘 要:本发明公开了一种多层陶瓷基板气密性检测装置,包括定位上料装置、机械手、对中定位装置、真空接头、真空橡皮、喷枪和质谱检漏仪;定位上料装置包括上料筒和顶升板;若干块待测的多层陶瓷基板垂直堆叠放置在顶升板顶部;真空橡皮具有空腔窗;机械手底部设有吸盘和弹性压框;弹性压框同轴套设在吸盘外周的机械手底部,弹性压框的截面宽度不小于0.5mm;对中定位装置包括相互垂直的横向对中组件和竖向对中组件;横向对中组件和竖向对中组件均包括两块定位板。本发明能使整个检测过程均自动完成,自动化程度高,同时能准确控制多层陶瓷基板外边缘与空腔窗边缘之间的间距,且压紧位置和压紧力保持一致,从而使得气密性检测结果可靠、准确度高。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202010424528.7 | 专利名称: | 一种多层陶瓷基板气密性检测装置 |
申请日: | 2020-05-19 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 发明 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G01M3/20搜分类 陶瓷搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 12500.0元 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |