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摘 要:本实用新型公开的属于晶圆技术领域,具体为一种半导体晶圆表面处理装置,包括支架和半导体晶圆,还包括:用于对半导体晶圆进行夹持固定的夹持组件,且夹持组件安装在支架上,用于对半导体晶圆的上下表面进行同时打磨的打磨机构,且打磨机构安装在支架上,所述支架包括:底板,侧板,所述底板的顶部两端均固定安装侧板,顶板,所述顶板的底部两端均固定安装侧板,本实用新型通过设置夹持组件对半导体晶圆进行夹持固定,以及再通过打磨机构设置对半导体晶圆的上下表面进行同时打磨,具有解决目前的打磨装置只能对晶圆的一侧表面进行打磨的问题,从而会大大提高打磨效率。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202222900056.5 | 专利名称: | 一种半导体晶圆表面处理装置 |
申请日: | 2022-11-01 | 申请/专利权人 | 杭州衣言衣型服饰有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 浙江省杭州市临平区东湖街道红旗村李家桥53号102室 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | B24B7/17搜分类 金属表面处理 半导体搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2023/05/26 | 授权 |